光掩模中有序组合图案的制作

刘凤岐

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光掩模中有序组合图案的制作

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＜正＞在光掩模制造中,常遇到一些由圆、三角形、正多边形等单元图形所组合的图案。这些单元图形在图案中排列秩序和间隔都有一定的规律性。制作时,如果进行全幅放大刻图和照相,不仅刻图要花费重复劳动,而且照相镜头的有效视场及稿架幅面都会受到限制。然而,若以一个单元图形用异图分步拼接、遮幅、迭印的方法,这些特殊形状的组合图案制作问题则迎刃而解。一、方法与实例1、异图分步拼接法实例用一正六边形组合成蜂房形状的组

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来源
《微电子学与计算机》 |1986年第12期||共页
作者
刘凤岐;
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作者单位

骊山微电子公司;

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