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感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法、电子器件的制造方法、光掩模制造用感光化射线性或感放射线性树脂组合物及光掩模的制造方法

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摘要

根据本发明，提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、使用上述组合物的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法、电子器件的制造方法、光掩模制造用感光化射线性或感放射线性树脂组合物及光掩模的制造方法，所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有通过酸的作用在显影液中的溶解性发生变化的树脂、具有通过酸的作用进行分解而极性发生变化的基团的光产酸剂(A)、产生pKa比由光产酸剂(A)产生的酸高的酸的光产酸剂(B)及碱性化合物。

著录项

公开/公告号CN115362412A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-11-18

原文格式PDF
申请/专利权人富士胶片株式会社;
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申请/专利号CN202180025303.7
发明设计人石原英幸;高桥年哉;三好太朗;福崎英治;
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申请日2021-03-12
分类号G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人薛海蛟
地址日本国东京都
入库时间 2023-06-19 17:37:04

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法律状态
2022-11-18

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