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感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法、感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、具备感光化射线性或感放射线性膜的空白掩模、光掩模、图案形成方法、电子器件的制造方法及电子器件

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摘要

本发明的课题在于提供一种经时稳定性优异、且解析性也优异的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法、感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、具备该膜的空白掩模、光掩模及图案形成方法、以及电子器件的制造方法及电子器件。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法是关于含有树脂、酸产生剂、有机酸及溶剂的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法，其特征在于包含选自下述工序(i)、工序(ii)及工序(iii)的任意工序，且所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物中的有机酸的含有率是以该组合物中的所有固体成分为基准而言大于5质量％。(i)在实质上不含树脂及酸产生剂的溶液中溶解有机酸的工序，(ii)在含有酸产生剂、且实质上不含树脂的溶液中溶解有机酸的工序，及(iii)在含有树脂、且实质上不含酸产生剂的溶液中溶解有机酸的工序。

著录项

公开/公告号CN106133601A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-16

原文格式PDF
申请/专利权人富士胶片株式会社;
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申请/专利号CN201580017751.7
发明设计人望月英宏;高桥孝太郎;土村智孝;
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申请日2015-03-12
分类号G03F7/004;G03F7/039;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人葛凡
地址日本国东京都
入库时间 2023-06-19 00:53:35

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-05-22

专利权的视为放弃 IPC(主分类):G03F7/004 放弃生效日:20200522 申请日:20150312

专利权的视为放弃
2016-12-14

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20150312

实质审查的生效
2016-11-16

公开

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