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用范德堡法检测扩散、离子注入均匀性

         

摘要

本文叙述了检测扩散、离子注入均匀性的范德堡法,给出了扩散、离子注入片均匀性的测检结果、偏差图及其分析,并对四探针法和范德堡法做了一般性的讨论。

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