首页> 中文期刊> 《微电子学与计算机》 >半导体器件的失效分析

半导体器件的失效分析

         

摘要

<正> 可靠性工作不仅是评价器件的可靠性水平,更重要的是改进可靠性。因此,对失效器件必须进行详细的分析,找出失效原因,反映给器件的设计和制造者,共同研究出针对性的纠正措施,以加快提高器件可靠性。同时,哪些筛选应力对提高器件可靠性有效?也要经失效分析来确定。另外,使用者在系统的可靠性设计和可靠性予测等方面也需要了解器件的失效模式和机理。这些就是进行失效分析的目的。对于半导体器件,不象电子管那样靠阴极电子发射工作,寿命较短;它是利用载流子在晶体中的运动而工作的,从理论上讲,它的寿命是极长的。由于材料、制造工艺等原因引起各种缺陷,才使得半导体器件提前失效。一般的集成电路制造包括十几道工序,每步都有一定的几率引入缺陷,使成品率及可靠性降低。尤其是后工艺的缺陷,如封装漏气、铝膜连线断裂、键合脱落等,往往是器件早期失效的直接原因。失效分析在半导体器件可靠性工作中是不可缺少的环节,它的作用可以参看图1。

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号