氮流量对ZnO:N薄膜微结构及光学性能影响

朱华; 况慧芸; 冯晓炜; 万文琼

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氮流量对ZnO:N薄膜微结构及光学性能影响

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运用射频磁控溅射技术,改变氩、氮流量比(9/1～9/4)在玻璃衬底上获得ZnO∶N样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪及SEM对薄膜微结构和光学性能表征。结果发现∶N流量小,样品XRD峰强小,峰位不明显,紫外可见光光谱在320～780 nm波长区间透射率变化小;随着N流量的增加,样品XRD有(002)强单峰出现,在400 nm波长以下透射率急剧下降;当氩氮流量达到9/4,样品XRD出现双峰,紫外光透射率无明显变化。

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来源
《人工晶体学报》 |2012年第5期|1280-1285|共6页
作者
朱华; 况慧芸; 冯晓炜; 万文琼;
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作者单位

景德镇陶瓷学院机电学院;

景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
ZnO∶N薄膜; 透射率; 磁控溅射;

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