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生长温度对非极性m面ZnOS外延薄膜结构和光学性能的影响

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高质量非极性面取向ZnOS薄膜的生长制备及其结构和性能探究具有重要的学术意义和潜在应用价值.由于极性面量子阱受到斯塔克效应的影响,近年来人们对ZnO的研究已经扩展到了非极性面.对于阴离子改性的ZnOS合金,虽然对其极性面的生长和性能的研究已有较多报道,但对其非极性面的研究至今仍处于起步阶段.采用脉冲激光沉积(PLD)法,首次得到了单相外延生长的非极性m面ZnOS薄膜,研究了衬底温度对非极性m面ZnOS薄膜的结构及其光学性能的影响.

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来源
《第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议》|2015年|154-155|共2页
会议地点苏州
作者
丁雅丽; 林银银; 梁国进; 黎明锴; 何云赋;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类化合物半导体;
关键词
硫氧锌薄膜; 脉冲激光沉积法; 单相外延生长; 衬底温度; 材料结构; 光学性能;

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