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D.L.Llamm; C.-P.Chang; D.E.Ibbotson; J.A.Mucha; 钟煌煌;
PECVD; 氮化硅; 化学工艺;
机译:使用二氯硅烷和氨气混合物通过PECVD沉积的低温低氢含量氮化硅薄膜
机译:使用化学计量PECVD氮化硅对低电阻率p型硅进行高质量的表面钝化
机译:PECVD氮化硅中的氢解吸扩散。在CMOS有源像素传感器钝化中的应用
机译:PECVD氮化硅膜退火使硅中的间质铁氢钝化
机译:用RBS,ERDA和CARS测定脉冲PECVD氮化硅薄膜中的氢。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:射频增强等离子体化学气相沉积(RF pECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性质和沉积速率的影响
机译:通过快速热氧化物/ pECVD氮化硅叠层有效钝化低电阻率硅表面及其在钝化后部和双面si太阳能电池中的应用
机译:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)氮化硅阻挡层,用于高密度等离子体化学气相沉积(HDP-CVD)介电层
机译:选择性形成富氢的PECVD氮化硅以提高NMOS晶体管的性能
机译:等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备低温低应力低k介电体的低温工艺
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