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微光学器件及其应用前景

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本文简述了几种微光学器件的研制及其应用前景。讨论了微光学在促进光学传感器小型化方面的作用，展望了微光学、微电子与微机械三者组合集成的发展趋势。

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来源
《仪器仪表学报》 |1995年第s1期|98-102|共5页
作者
邬敏贤; 金国藩; 严瑛白;
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作者单位

清华大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学仪器;
关键词
微光学器件; 衍射效率; 光盘读出头; 微光学元件; 光栅; 微机械; 透镜阵列; 小型化; 计算全息; 光学设计;

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