交替溅射法制备BaM铁氧体薄膜的特性研究

张弘; 刘曦; 刘小晰; 魏福林; A.S.Kamzin; 贺德衍

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以双靶射频溅射和交替沉积的方法制备了不同化学组成的BaM铁氧体薄膜。对所沉积的薄膜进行了两种不同方式的热处理。通过热处理后铁氧体薄膜的X射线衍射(XRD),逆转换电子穆斯堡尔谱(CEMS)及原子力显微镜(AFM)等微观结构的分析和宏观磁性的测试,结果表明两步骤退火过程对于垂直取向结构的形成是有利的。

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来源
《人工晶体学报》 |2009年第6期|1380-1383|共5页
作者
张弘; 刘曦; 刘小晰; 魏福林; A.S.Kamzin; 贺德衍;
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作者单位

兰州大学物理科学与技术学院;

日本国立信州大学工学部情报工学科;

俄罗斯约飞物理技术研究所;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
钡铁氧体薄膜; 垂直各向异性; 穆斯堡尔谱;

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