利用碳纳米管探针进行纳米加工的研究进展

胡小鹏; 刘庆纲; 匡登峰; 李源; 胡小唐

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利用碳纳米管探针进行纳米加工的研究进展

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碳纳米管具有小的半径、高的长径比、高的弹性模量和弯曲强度和导电特性 ,这使得它很适合做原子力显微镜探针进行高分辨率测试和纳米级加工 ,并使加工的纳米点、线和复杂图形在加工过程中保持比较一致的形状和高的纵横比。文中提出了一套制备碳纳米管探针的热丝化学气相沉积 (HF- CVD)装置 ,叙述了 HF- CVD的原理。

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来源
《仪器仪表学报》 |2003年第z1期|559-562|共4页
作者
胡小鹏; 刘庆纲; 匡登峰; 李源; 胡小唐;
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作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学仪器;
关键词
纳米加工; 碳纳米管; HF-CVD;

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