用AFM导电探针在n-Si(111)表面进行纳米加工的机理研究

朱守星; 丁建宁; 范真; 李长生; 蔡兰; 杨继昌

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本文介绍了在AFM针尖与氢钝化硅表面之间施加电场作用对硅表面进行修饰的纳米加工方法,重点讨论了加工机理.实验考虑了样品的表面状态,周围大气状况,所加电压的极性、大小和加压方式等影响纳米加工的因素.对机理的研究表明,针尖和样品之间发生的是场致电子发射而非热电子发射,电流热效应增强粒子的扩散能力,提高了电化学反应速度.最后给出了电场诱导阳极氧化扩散增强的加工机理.

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来源
《电子显微学报》 |2003年第3期|202-205|共4页
作者
朱守星; 丁建宁; 范真; 李长生; 蔡兰; 杨继昌;
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作者单位

江苏大学微纳米科技研究中心,江苏,镇江,212013;

江苏大学微纳米科技研究中心,江苏,镇江,212013;

江苏大学微纳米科技研究中心,江苏,镇江,212013;

江苏大学微纳米科技研究中心,江苏,镇江,212013;

江苏大学微纳米科技研究中心,江苏,镇江,212013;

江苏大学微纳米科技研究中心,江苏,镇江,212013;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子光学仪器;切削原理与计算;
关键词
AFM; 纳米加工; 氧化; 扩散;

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