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微波等离子体处理装置、等离子体处理方法以及微波发射部件

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在处理容器的内部，设有装载台，用来装载半导体晶片(W)。微波发生器产生微波，通过平面天线部件导入到处理容器内。平面天线部件具有沿若干圆周排列的若干贯通孔，

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来源
《表面技术》 |2005年第2期|65-65|共1页
作者
大见忠弘;
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作者单位

日本东京毅力科创株式会社;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
微波等离子体; 处理装置; 部件; 微波发射; 处理方法; 平面天线; 半导体晶片; 微波发生器; 贯通孔; 容器; 装载;

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