单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能

李嘉; 张战; 马丽莹; 方莉莉; 赵豪民

首页> 中文期刊>硅酸盐学报 >单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能

单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文主要介绍了用微波等离子体化学气相沉积法(以下简称MP CVD法)以甲醇-氢气混合气和丙酮-氢气混合气为源气体,分别以单晶硅的(111)面和人造金刚石的(100)面为衬底材料,制备出了面积为20mm×20mm厚为10μm的多晶金刚石膜和面积为1.0mm×1.0mm厚为5μm的单晶金刚石膜。通过试验发现,源气体配比和衬底温度对薄膜质量起决定性作用。另外,衬底在反应腔中的位置对薄膜的生成也有很大影响。单晶金刚石膜制备过程中衬底金刚石的晶体取向与金刚石薄膜的生长及质量有密切的关系。在金刚石的(100),(110)和(111)面上分别获得了单晶金刚石膜和金刚石多晶粒子。选用扫描电镜、显微激光拉曼、反射电子衍射对多晶金刚石膜及单晶金刚石膜的性能进行了测试。

著录项

来源
《硅酸盐学报》|1992年第4期|387-392|共6页
作者
李嘉; 张战; 马丽莹; 方莉莉; 赵豪民;
展开▼
作者单位

机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类碳C;
关键词
微波等离子; 化学气相沉积; 金刚石膜;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. IC 卡膜式燃气表人造金刚石圆锯片铰链式六面顶液压机人造金刚石单晶高性能磁性材料器件卫星电视天线 [J] . . 新技术新工艺 . 2004,第006期
2. 大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究 [J] . 杨国永 ,熊绍阳 ,鲁云祥 . 硬质合金 . 2020,第005期
3. ECR结合中频磁控溅射制备掺Cu类金刚石膜工艺及性能研究 [J] . 佘博西 ,李书昌 ,谷坤明 . 润滑与密封 . 2012,第004期
4. 射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法制备类金刚石碳膜工艺与性能表征 [J] . 陈冲 ,费振义 ,亓永新 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2009,第5期
5. 液相法新工艺制备类金刚石膜的结构及其电学性能分析 [J] . 汲大朋 ,刘贵昌 . 功能材料 . 2007,第A10期
6. 掺铬类金刚石膜制备工艺与机械性能关系的研究 [C] . . 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛 . 2008
7. RF-PECVD法制备掺硅类金刚石膜工艺及其性能的研究 [A] . 凌贵 . 2009

单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅