射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法制备类金刚石碳膜工艺与性能表征

陈冲; 费振义; 亓永新; 曹宁; 张益博; 王风; 吕震; 李木森

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使用射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积技术(简称RFGDPECVD)在玻璃载玻片表面沉积类金刚石薄膜。用原子力显微镜(AFM)、摩擦试验仪、划痕试验机测定了其表面形貌、耐磨性及附着性。采用X射线光电子能谱(XPS)、分光光度计对两种气源(C4H10、C2H2)制备的DLC薄膜微观组成和透光率进行了检测和对比。结果表明:DLC薄膜的表面光滑、平整,表面粗糙度随沉积时间的增加单调递增;耐磨性及附着性优良;与C4H10相比使用C2H2作为碳源气体可以得到较高sp3含量和较低sp1含量的DLC膜;C2H2制备DLC薄膜的透光率低于C4H10;同一种碳源气体,反应流量比例越小,则DLC薄膜的透光性越好。

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来源
《金刚石与磨料磨具工程》 |2009年第5期|7-12|共6页
作者
陈冲; 费振义; 亓永新; 曹宁; 张益博; 王风; 吕震; 李木森;
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作者单位

山东省超硬材料工程技术研究中心;

山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类人造宝石、合成宝石的生产;薄膜技术;
关键词
射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积; 类金刚石薄膜; 放电特性;

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