不同结构金刚石涂层刀具的制备及性能参数优化

邓福铭; 朱灏; 王双; 郝岑; 雷青

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不同结构金刚石涂层刀具的制备及性能参数优化

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利用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition)法,选取最佳工艺参数,在硬质合金刀具上制备微米、纳米及微/纳米金刚石复合涂层,采用SEM、Raman光谱、XRD测试分析涂层的表面形貌和化学纯度。结果显示,微米金刚石涂层结晶质量好,晶面取向以(111)(220)为主且金刚石纯度很高,纳米金刚石涂层表面光滑无明显择优取向,微/纳米复合涂层聚具有两种涂层的优点。采用压痕法、划痕法、微粒冲浆喷蚀(MSE)法对涂层的膜/基结合力及耐磨性进行测定。结果显示微米金刚石涂层的膜/基结合力最好,纳米金刚石涂层的最差。微/纳米金刚石复合涂层的耐磨性最好,纳米金刚石涂层的耐磨性最差。

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来源
《人工晶体学报》 |2018年第7期|1353-1358|共7页
作者
邓福铭; 朱灏; 王双; 郝岑; 雷青;
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作者单位

中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所;

武昌船舶重工集团有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类人造宝石、合成宝石的生产;磨具、研具;
关键词
化学气相沉积; 金刚石复合涂层; 表面形貌; 耐磨性;

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