基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究

丁雷; 尚德广; 张大成; 沈通; 贾冠华; 阎楚良

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基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究

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设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置,该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作。对所设计的MEMS(micro-electro-mechanical system)疲劳试验装置中的圆弧梳状驱动器的电容及静电驱动力进行理论分析,并采用ANSYS机电耦合单元对装置的振动过程进行模拟,模拟结果与理论分析相吻合。研究结果表明在一定范围交流电压的驱动下试样能达到MEMS疲劳测试所要求的应力水平,并对该电压范围进行预测。

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来源
《机械强度》 |2006年第5期|684-689|共6页
作者
丁雷; 尚德广; 张大成; 沈通; 贾冠华; 阎楚良;
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作者单位

北京工业大学机电学院;

北京大学微电子学系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械试验法;
关键词
微机电系统; 疲劳; 梳状驱动器; 有限元方法; 机电耦合分析;

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