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SOI横向双晶体管结构研究

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摘要

本文首先概括地介绍了体硅、SOI纵向双极晶体管和横向双极晶体管的各自特点，并简要地阐述了SOI横向双极晶体管的发展；其次，对各种SOI横向双极晶体管的结构与性能进行了分析研究；最后，我们认为SOI横向双极晶体管是一种比较理想的双极器件，不失为SOI／BiCMOS的理想选择。

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来源
《微电子学与计算机》 |1998年第1期|1-5|共5页
作者
刘新宇; 沈文正;
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作者单位

西安微电子技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN322.8;
关键词
SOI; 双极晶体管; 晶体管; BiCMOS;

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