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陈德勇; 崔大付; 于中尧; 王利;
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室;
微电子机械加工技术; 氮化硅梁; 谐振式压力传感器;
机译:氮化硅微盘光机械谐振器中的电磁感应透明度和宽带波长转换
机译:研究Ca2 +离子在氮化硅微悬臂梁表面吸附的机械效应
机译:在谐振PECVD氮化硅微结构上具有温度补偿的全光学压力传感器
机译:氮化硅梁谐振压力传感器进行温度补偿的设计与建模
机译:坚固的微机械电容式压力传感器,适用于机械恶劣的环境。
机译:具有蚀刻硅双膜片和组合梁的横向驱动谐振压力传感器
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
机译:超微晶金刚石微谐振器的机械刚度和耗散
机译:用于非接触式压力测量的压力传感器,微机械压力开关和微机械压力变化传感器,其中通过谐振电路为传感器供电
机译:利用MEMS致动器通过机械限制的微谐振器的谐振频率调谐设备,具有该微谐振器的谐振器,其制造方法和调谐方法
机译:谐振传感器和制造包括谐振梁结构的压力传感器的方法
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