毫米波缝隙天线的三维非硅微加工制造技术

陆闻静; 宿智娟; 丁桂甫

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讨论了面向毫米波缝隙天线集成制造应用的三维非硅微加工技术方案,重点解决多种材料兼容、多层复杂微结构集成和大悬空高度等独特难题。针对天线器件中金属和介质材料的结合,提出了加法工艺、减法工艺以及一种通用型图形化微加工工艺,其中通用型图形化工艺为各种非硅薄膜材料在MEMS体系中的灵活运用创造了条件;为了实现多层复杂微结构的加工,提出工艺整合和工艺兼容性设计,针对天线器件中的悬空结构对牺牲层工艺进行了研究;最后以一种单向宽带毫米波平面缝隙天线为例,阐述其具体工艺流程,验证了上述工艺的可行性。

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来源
《微纳电子技术》 |2010年第4期|242-248|共7页
作者
陆闻静; 宿智娟; 丁桂甫;
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作者单位

上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室;

上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
毫米波天线; 缝隙天线; 三维非硅微加工技术; 通用型图形化工艺; 集成制造;

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