立方Mg_xZn_(1-x)O晶体薄膜的制备和性能

余萍; 吴惠桢; 陈奶波; 徐天宁

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立方Mg_xZn_(1-x)O晶体薄膜的制备和性能

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采用低温物理沉积技术在二氧化硅衬底(SiO2/Si(100))和石英玻璃上生长出了MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜,并用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)图谱和紫外-可见光透射光谱对其进行了表征.结果表明,在SiO2/Si(100)和石英玻璃衬底上沉积的MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜表面平整,均呈立方结构,且具有高度的(001)择优取向.立方MgxZn1-xO薄膜具有从紫外到近红外波段良好的透明性,折射率为1.7-1.8,随着波长的增大或Mg组分的增大而降低.

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来源
《材料研究学报》 |2005年第3期|277-281|共5页
作者
余萍; 吴惠桢; 陈奶波; 徐天宁;
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作者单位

浙江大学;

浙江大学中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
无机非金属材料; MgxZn1-xO晶体薄膜; 低温物理沉积; 立方相MgxZn1-xO; 折射率;

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