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4000TPI光刻伺服盘的工艺实践

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利用光刻技术成功地制作了4000TPI(Tracks Per Inch)伺服盘.通过扫描电镜、振动样品测试仪及干涉仪检测结果证明,所研制了光刻伺服盘达到了设计要求.

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来源
《微电子学与计算机》 |1993年第1期|37-40|共4页
作者
赫连娜; 张江陵; 王智刚; 罗敢;
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作者单位

华中理工大学计算机系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP333.35;
关键词
光刻技术; 伺服盘; 磁盘; 光刻伺服盘;

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