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李兆博; 张春恒; 李桂鹏; 同磊;
宁夏东方钽业股份有限公司国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心;
溅射镀膜铌靶材; 晶粒尺寸; 等轴晶组织;
机译:使用哈弗与溅射铌的哈弗作为入口箔,对在铌靶材上辐照的水样品中的放射性核素和化学杂质进行定量和比较研究。
机译:使用金属合金靶材对铝掺杂氧化锌层进行PEM控制的反应磁控溅射工艺中的光学研究
机译:使用工业尺寸可旋转靶材对ZnO:Al和ITO的大面积反应溅射工艺进行比较
机译:纳米晶粒尺寸和点缺陷对氧化钇,钽和氧化铌掺杂氧化锆性能的影响,用于TBC。
机译:磁控溅射不同磷酸钙靶材对氧化锆陶瓷植入物表面的改性研究
机译:反应磁控溅射沉积超导铌 不同靶尺寸的氮化钛薄膜
机译:铀-7.4%重量铌合金的晶粒长大和再结晶晶粒尺寸
机译:用于玻璃镀膜设备中的溅射装置的阴极装置包括支撑结构,该支撑结构在其表面上具有靶材以形成具有横截面的管状靶材
机译:溅射沉积单元可用于在半导体晶片上沉积钛和氮化钛涂层,其溅射靶具有非靶材表面,用于接收靶材并将靶材重新溅射到工件外围
机译:溅射镀膜设备-靶交换室可在更换靶材时排空,从而避免去除镀膜室中的真空
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