超磁致伸缩微驱动器在纳米测量中应用的研究

贾宇辉; 谭久彬

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超磁致伸缩微驱动器在纳米测量中应用的研究

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Ｘ射线衍射仪是目前纳米检测中最为行之有效的一种方法，对纳米技术的发展有着重要的意义。但是，目前由于受其驱动器性能的影响，在应用推广上还受到一定的限制。针对这一问题，文章提出采用超磁致伸缩材料，研制的驱动器具有位移量大、分辨率高、结构简单等特点，将其应用于Ｘ射线衍射仪中，将对其发展起着极大的推动作用。

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来源
《压电与声光》 |2000年第2期|127-130|共4页
作者
贾宇辉; 谭久彬;
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作者单位

哈尔滨工业大学自动化测试及控制系;

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正文语种 chi
中图分类 TH703.65;
关键词
纳米检测; 超微致伸缩; 驱动器;

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