(La_xBi_(1-x))_2Ti_2O_7薄膜X射线光电子能谱研究

张寅; 王弘; 杨雪娜; 姚伟峰; 尚淑霞; 刘维民

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采用化学溶液沉积(CSD)工艺在Si(100)衬底上制备了Bi2Ti2O7(BTO(和(LaxBi1-x)2Ti2O7(BLT(铁电薄膜,薄膜的X射线衍射(XRD)结果显示其具有较好的结晶性,运用X射线光电能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了研究,分析结果表明,薄膜中氧空位的出现影响了其相的稳定性,通过掺La可以改善其性能。

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来源
《压电与声光》 |2005年第1期|50-52|共3页
作者
张寅; 王弘; 杨雪娜; 姚伟峰; 尚淑霞; 刘维民;
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作者单位

山东大学晶体所国家重点实验室;

中国科学院兰州化学物理研究所国家重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类微光技术、微光夜视仪;
关键词
介电薄膜; 化学溶液沉积(CSD); X射线光电能谱仪(XPS);

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