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物理汽相生长并五苯晶体薄膜

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摘要

用物理汽相沉积法在水平系统中生长有机半导体并五苯晶体薄膜。用 10～ 30毫克的源生长出 2 0～ 30mm2 大小的适合特性测量和器件制备的晶体薄膜。利用扫描电镜 (SEM )、透射电镜 (TEM )和X射线衍射仪 (XRD)

著录项

来源
《半导体光电》 |2002年第6期|418-420|共3页
作者
张素梅; 石家纬; 刘建军; 刘明大; 郭树旭; 王伟; 赵玲; 李靖;
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作者单位

吉林大学集成光电子国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
物理汽相沉积; 晶体薄膜; 并五苯;

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