首页> 中文期刊> 《中国建材科技》 >CVD工艺SiCl_4蒸发量影响因素研究

CVD工艺SiCl_4蒸发量影响因素研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文研究了以氧气作为载气，20℃时SiCl4的蒸发量与载气量、液面高度、液面尺寸及料温波动的关系，分析了影响因素，得出了SiCl4蒸发量与这些因素之间的变化规律，为准确控制SiCl4流量提供了依据。

著录项

来源
《中国建材科技》 |2000年第6期|36-37|共2页
作者
孙明武; 陈国能;
展开▼
作者单位

中国建材研究院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TQ342.82;
关键词
光纤制造; SiCl4蒸发量; 载气量; 液面高度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 干旱区水面蒸发量的影响因素研究 [J] . 陈思 . 四川建材 . 2017,第011期
2. 1961-2010年蒸发皿蒸发量气候变化特征及影响因素研究——以蒙阴县为例 [J] . 耿长友 ,裴洪芹 ,王庆华 . 现代农业科技 . 2016,第019期
3. 小型植株蒸腾蒸发量测定装置与影响因素的研究 [J] . 周诗豪 . 农家科技（下旬刊） . 2016,第008期
4. 蒸发量变化特征及影响因素研究 [J] . 隋景跃 ,张国林 . 山西农业科学 . 2014,第007期
5. 若尔盖区域不同下垫面蒸发量影响因素研究 [J] . 龙建 ,蒋伟 ,邹榕 . 草业与畜牧 . 2010,第011期
6. 近40年邢台地区蒸发皿蒸发量的变化特征及影响因素 [C] . 杨允凌 ,YANG Yunling ,杨丽娜 . 第29届中国气象学会年会 . 2012
7. 华东地区蒸发皿蒸发量的变化特征及其影响因素分析 [A] . 丘永杭 . 2020

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号