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纳米卫星微型连接器结构与工艺设计

摘要

微型连接器是微型和纳米卫星研制中连接和测试其MEMS和ASIM分系统不可缺少的部件。本文就连接器的结构和制造工艺做了初步的探讨,其中电子束CAD和CAM以及X射线LIGA工艺给出图形和工艺流程。

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