用于微型、纳米卫星三维作图的微型多来电子束曝光系统研究

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• 来源
  《仪器仪表学报》|1996年第S1期|310-313|共4页
• 作者

  陶友松; 付世民; 李达耀; 刘志雄; 西门纪业;

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• 作者单位

  永泉研究所北京研究发展部,北京大学无线电电子学系;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 人造卫星;
• 关键词

  电子束曝光系统; 电子束曝光机; 纳米卫星; 电子光学柱; 微型机械; 结构设计; 离子束; 工件台; 电气系统; 光子束;