MOVPE生长AlN的气相反应机理的密度泛函理论研究

张莲; 张红; 左然

首页> 中文期刊> 《人工晶体学报》 >MOVPE生长AlN的气相反应机理的密度泛函理论研究

MOVPE生长AlN的气相反应机理的密度泛函理论研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

利用量子化学的密度泛函理论,对MOVPE生长Al N的气相反应路径进行理论计算和分析,特别针对氨基物DMAl NH2形成后的多聚反应、多聚物消去甲烷反应、以及温度的影响关系进行研究。通过对不同反应路径的吉布斯自由能和反应能垒的计算,分别从热力学和动力学上确定最可能的末端气相反应前体。研究发现,氨基物通过与NH3的双分子碰撞,很容易越过较低的能垒,形成稳定的Al(NH2)3。在385 K

著录项

来源
《人工晶体学报》 |2018年第3期|481-488|共8页
作者
张莲; 张红; 左然;
展开▼
作者单位

江苏大学能源与动力工程学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
密度泛函; 气相反应; AlN; MOVPE;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. GaN-MOVPE寄生反应的密度泛函理论研究 [J] . 张红 ,唐留 . 化工学报 . 2019,第009期
2. 2-氨基吡啶气相氟代反应的密度泛函理论研究 [J] . 何光裕 ,庞凯 ,赵国栋 . 原子与分子物理学报 . 2009,第006期
3. N'-苯亚甲基-苯并酰肼气相高温分解反应机理的密度泛函研究 [J] . 魏东辉 ,唐明生 ,王红明 . 化学学报 . 2008,第003期
4. 密度泛函理论研究反应CH3+HCl(<=>)CH4+Cl(Ⅰ)频率分析与反应机理 [J] . 刘高燕 ,魏勋 ,谢怡 . 曲阜师范大学学报（自然科学版） . 2006,第003期
5. AlN能带及态密度的密度泛函理论研究 [J] . 王腊节 ,聂招秀 ,刘德政 . 四川理工学院学报（自然科学版） . 2010,第004期
6. Os<'+>活化NH<,3>分子气相反应机理的密度泛函理论研究 [C] . 张干兵 ,赵文方 ,董超 . 中国化学会第十届全国络合催化学术讨论会 . 2007
7. MOVPE生长AlN的气相反应机理研究 [A] . 张莲 . 2018

MOVPE生长AlN的气相反应机理的密度泛函理论研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅