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SOI基可变光学衰减器的回波损耗研究

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摘要

采用倾斜3.4°抛光SOI波导端面和在波导端面镀TiO2减反膜的方法,使SOI基动态可调光学衰减器的插入损耗减小了1.6 dB,而且回波损耗由8 dB提高至57 dB,解决了SOI波导器件回波严重这一实用化过程中的关键问题。利用上述方法研制出了完整封装的SOI基可变光学衰减器样品。

著录项

来源
《半导体光电》 |2006年第4期|370-372|共4页
作者
陈鹏; 方青; 李芳; 刘育梁;
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作者单位

中国科学院半导体研究所光电子研发中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类集成光学器件;
关键词
高斯光束耦合; 回波损耗; SOI; 减反膜; 端面斜抛;

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