低功率消耗SOI基热光可变光学衰减器

著录项

• 来源
  《半导体学报》 |2005年第z1期|204-207|共4页
• 作者

  贺月娇; 方青; 辛红丽; 陈鹏; 李芳; 刘育梁;

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• 作者单位

  中国科学院半导体研究所;

  光电子研究发展中心;

  北京;

  100083 中国科学院半导体研究所;

  光电子研究发展中心;

  北京;

  100083 中国科学院半导体研究所;

  光电子研究发展中心;

  北京;

  100083 中国科学院半导体研究所;

  光电子研究发展中心;

  北京;

  100083 中国科学院半导体研究所;

  光电子研究发展中心;

  北京;

  100083 中国科学院半导体研究所;

  光电子研究发展中心;

  北京;

  100083;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光波导;
• 关键词

  可变光学衰减器; 热光; 隔热槽; 功率消耗;