基于声表面波形状记忆合金微阀研究

李向莉; 钱显毅

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基于声表面波形状记忆合金微阀研究

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研制了一种声表面波控制的形状记忆合金微阀。在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热压电基片上石蜡油,使弯曲的形状记忆合金线伸展,促使与其连接的聚二甲基硅氧烷微通道壁发生形变,截止微通道,实现微阀从开态向关态转变。撤除电信号,形状记忆合金线温度下降,恢复软性,在硬质塑料薄片的恢复力作用下,微阀重新由关态转为开态。以流体输运为实验对象进行微阀开关实验,结果表明,声表面波可有效控制形状记忆合金微阀的开关操作,在28.5dBm电信号功率作用下,微阀关闭时间为40.4s。

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来源
《压电与声光》 |2017年第1期|153-156|共4页
作者
李向莉; 钱显毅;
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作者单位

苏州信息职业技术学院通信与信息工程系;

常州工学院电气与光电子工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类通用热敏电阻;
关键词
微阀; 形状记忆合金; 声表面波; 微通道; 微流器件;

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