溶胶-凝胶法制备钛酸镧铅薄膜及其介电调谐特性

熊惠芳; 蒋力立; 唐新桂; 刘秋香

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溶胶-凝胶法制备钛酸镧铅薄膜及其介电调谐特性

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在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用溶胶-凝胶法制备出多晶(Pb(1-x)/100Lax/100)Ti(1-x/4)/100O3(x=28,简称PLT28)薄膜。PLT28薄膜的平均晶粒尺寸为25～30nm,薄膜均匀致密。PLT28薄膜在300kV/cm电场作用下,自发极化强度(Ps)、剩余极化强度(Pr)和矫顽场(Ec)分别为11.9μC/cm2、0.77μC/cm2和8.1kV/cm。在外加电场363kV/cm时,PLT28薄膜的相对介电常数与介电调谐率高达1242%和68.4%。

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来源
《稀有金属材料与工程》 |2008年第a02期|174-176|共3页
作者
熊惠芳; 蒋力立; 唐新桂; 刘秋香;
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作者单位

广东工业大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类磁性材料、铁氧体;
关键词
溶胶-凝胶法; 钛酸镧铅; 薄膜; 铁电存储器; 介电调谐特性;

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