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溶胶-凝胶法制备钛酸镧铅薄膜及其介电调谐特性

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在Vt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用溶胶-凝胶法制备出多(Pb(1-x)/100Lax/100)Ti(1-x/4)/100O3(x=28,简称PLT28)薄膜.PLT28薄膜的平均晶粒尺寸为25～30 nm,薄膜均匀致密.PLT28薄膜在300 kV/cm电场作用下,自发极化强度(Ps)、剩余极化强度(Pr)和矫顽场(Ec)分别为11.9 μC/cm2、0.77 μC/cm2和8.1 kV/cm.在外加电场363 kV/cm时,PLT28薄膜的相对介电常数与介电调谐率高达1242%和68.4%.

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来源
《2007年全国溶胶-凝胶科学技术学术会议》|2007年|174-176|共3页
会议地点北京
作者

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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
溶胶-凝胶法; 钛酸镧铅; 铁电存储器; 介电调谐特性; 晶粒尺寸; 介电常数;

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