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李海鑫; 黄其煜;
上海交通大学微电子学院;
聚二甲基硅氧烷; 硅油; 紫外纳米压印; 软模板; 浇铸法;
机译:通过使用稀释的PDMS材料的软UV-纳米压印光刻技术改进的模具制造,以定义高质量的纳米图案
机译:双层PDMS模具和紫外热纳米压印的低成本制备混合微纳米流体芯片的方法
机译:PDMS软模通过室温纳米压印制备的HSQ复制模的脱模性能
机译:用灰度电子束光刻制备UV纳米压印光刻和微接触印刷的3-D PDMS纳米模板
机译:软模板法控制贵金属纳米线的二级结构
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:使用纳米压印的多面体低聚倍半硅氧烷底物的软石墨外延法进行PS-b-PDMS的定向自组装
机译:采用软纳米压印光刻技术制备的超均匀位点控制量子点阵列
机译:用于纳米压印的模板,使用用于纳米压印的模板形成图案的方法以及用于生产纳米压印的模板的方法
机译:纳米压印光刻模板的缺陷校正方法和制备纳米压印光刻模板的方法
机译:模板基板,用于纳米压印的模板以及用于制造纳米压印模板的方法
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