基于紫外纳米压印光刻的氟化混合物模板制备

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• 来源
  《飞控与探测》 |2019年第2期|P.54-58|共5页
• 作者

  胡克想; 王阳培华; 王庆康;

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• 作者单位

  [1]中国矿业大学信息与控制工程学院;

  物联网(感知矿山)研究中心;

  矿山互联网应用技术国家工程实验室;

  徐州221008;

  [2]上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  微米/纳米加工技术国家重点实验室;

  薄膜与微细技术教育部重点实验室;

  上海200240;

  [2]上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  微米/纳米加工技术国家重点实验室;

  薄膜与微细技术教育部重点实验室;

  上海200240;

  [2]上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  微米/纳米加工技术国家重点实验室;

  薄膜与微细技术教育部重点实验室;

  上海200240;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 其他器件;
• 关键词

  纳米制造; 纳米压印曝光; 纳米压印设备; 氟化混合物复制软模板;