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EACVD低温合成金刚石薄膜中非线性电场的数值模拟

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摘要

采用蒙特卡罗模拟方法,研究了电子辅助热丝化学气相沉积(EACVD)技术低温合成金刚石薄膜过程中反应区的非线性电场分布.结果表明:阳极基片附近反应区电场的空间分布按指数规律变化,在一定的偏压条件下,随着气压的变化阳极附近将出现反向电场,对于金刚石薄膜的低温合成中的正离子分子,该反向电场起重要作用.

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来源
《计算物理》 |2003年第5期|399-402|共4页
作者
赵庆勋; 张靖; 辛红丽; 文钦若; 杨景发;
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作者单位

河北大学物理科学与技术学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
EACVD; 金刚石薄膜; 低温合成; 非线性电场; 数值模拟; 电子辅助热丝化学气相沉积;

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