一种适用于扫描探针显微镜的符合扫描模式

傅星; 胡小唐

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扫描模式问题是长期困扰包括扫描隧道显微镜（ＳＴＭ），原子力显微镜（ＡＦＭ）在内的扫描探针显微镜（ＳＰＭ）测量精度和速度的关键问题。理论与实验均表明：“符合扫描”消除了原有扫描模式带来的测量误差。这种模式还使测量速度提高了约７０％，不仅可以使现在的观察型ＳＴＭ的性能得到提高，而更重要的是对ＳＰＭ从观察型向计量型的转变在扫描模式方面提供了保障。

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来源
《半导体光电》 |1999年第3期|195-197|共3页
作者
傅星; 胡小唐;
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作者单位

天津大学精密仪器与光电子工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;基础理论;
关键词
扫描隧道显微镜; 原子力显微镜; 扫描探针显微镜; 扫描模式; “符合扫描”;

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