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工程表面粗糙度两用测量系统

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介绍了一种新型工程表面粗糙度两用测量系统的设计原理、仪器结构及测试结果。该系统可采用接触法和非接触法两种测量方式，接触法测量范围达±１００μｍ，最小分辨率为０．００５μｍ；非接触法测量范围达±２５０μｍ，最小分辨率为０．０１μｍ。

著录项

来源
《工具技术》 |1999年第4期|28-30|共3页
作者
谢峰; 李建林; 谢铁邦; 李柱;
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作者单位

华中理工大学机械学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类表面光洁度（表面粗糙度）的测量及其量仪;
关键词
表面粗糙度; 接触测量法; 聚焦探测法; 测面系统;

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