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射频微机电系统技术现状

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摘要

较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。

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来源
《微波学报》 |2005年第6期|58-65|共8页
作者
金铃;
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作者单位

南京电子技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类移动通信;
关键词
微机电系统技术; 射频微机电系统; 微机电系统器件;

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