SnO_2:Pt薄膜和SnO_2/SnO_2:Pt双层膜气敏响应的次方因子

刘文利; 李蕾; 高建华; 刘东红

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用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2 :Pt薄膜和表面层掺杂SnO2 /SnO2 :Pt双层膜 ,测量了薄膜在不同CO体积分数下的灵敏度和电导 .研究了两种薄膜对CO响应的次方因子 ,测定了工作温度和薄膜厚度对次方因子的影响 .实验结果表明 ,由室温至 2 0 0℃ ,这两种薄膜对CO气体都显示了较高的灵敏度和选择性 ,两种薄膜电导对CO的响应服从次方定律关系 ,薄膜工作温度及厚度对次方因子均有影响 ,次方因子在 0 .5～ 0 .8之间 ,次方因子在膜厚 60～ 70nm附近存在极大值 .对两种薄膜测量结果的比较说明。

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来源
《山东大学学报：工学版》 |2004年第1期|115-119|共5页
作者
刘文利; 李蕾; 高建华; 刘东红;
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作者单位

山东大学物理与微电子学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.07;O472.1;
关键词
薄膜; 半导体膜; 粉末溅射; 气敏器件;

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