在钛酸锶衬底上外延生长ZnO薄膜及其性能研究

杨锡林; 张连翰; 邹军; 何晓明; 宋词; 周圣明; 杭寅

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用脉冲激光淀积法(PLD)在(111)面SrTiO3衬底上外延生长ZnO单晶薄膜。样品分别在衬底温度为350℃、500℃、600℃下外延生长。X射线衍射(XRD)的结果表明,所得的ZnO单晶薄膜结晶性能好,只出现(002)和(004)两个衍射峰,(002)峰的半高宽度(FWHM)为0.23°。在荧光光谱中我们只观察到来源于带边激子跃迁的强UV发射,并且随着生长温度的升高,紫外峰的强度逐渐增强。样品的SEM图像表明所得ZnO薄膜表面平整,晶粒均匀。衬底温度为600℃时,所得到的ZnO薄膜结构完整,晶粒尺寸最大,均匀;而且紫外发射最强。

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来源
《人工晶体学报》 |2007年第1期|106-109|共4页
作者
杨锡林; 张连翰; 邹军; 何晓明; 宋词; 周圣明; 杭寅;
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作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
PLD; 紫外发射; ZnO薄膜; SrTiO3;

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