LSAT(111)衬底上ZnO单晶薄膜的分子束外延生长

著录项

• 来源
  《半导体学报：英文版》|2005年第z1期|82-86|共5页
• 作者

  英敏菊; 杜小龙; 刘玉资; 曾兆权; 梅增霞; 郑浩; 袁洪涛; 贾金锋; 薛其坤; 张泽;

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• 作者单位

  中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 北京工业大学,北京,100022;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
• 关键词

  ZnO单晶薄膜; RF-MBE; LSAT(111); 旋转畴; 外延取向;

• 入库时间 2022-08-20 23:45:28