组分和应力不均匀分布对薄膜铁电性的影响

赵强; 汤兆胜; 冯仕猛; 范正修

首页> 中文期刊> 《压电与声光》 >组分和应力不均匀分布对薄膜铁电性的影响

组分和应力不均匀分布对薄膜铁电性的影响

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用组合靶射频溅射的方法、制备后慢速降温的途径在（１１１）Ｓｉ基板上制备出了成膜较好的ＰｂＴｉＯ３薄膜。通过测试分析发现在薄膜中形成了一个缓解应力的过渡层，薄膜中的Ｐｂ、Ｔｉ组分比沿着薄膜生长的方向成非线性增长，并在薄膜表面形成一个富Ｐｂ层，薄膜的Ｃ－Ｖ特性曲线中存在负方向的位移和畸变。结合实验结果对薄膜的生长机理进行了探讨，并且对薄膜中的应力和不均匀分布的组分对薄膜铁电特性的影响进行了理论上的分析，而且与实验取得了一致的结果。

著录项

来源
《压电与声光》 |2000年第4期|249-252|共4页
作者
赵强; 汤兆胜; 冯仕猛; 范正修;
展开▼
作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜技术中心;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TM221;
关键词
PbTiO3薄膜; 应力; 组分; 铁电;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 镧掺杂对PLZT组分薄膜铁电性能影响的研究 [J] . 张瑶 . 化工新型材料 . 2020,第007期
2. 张应力对准同形相界Pb（Zr,Ti）O_3薄膜相变和铁电性能影响 [J] . 闻心怡 ,王耘波 ,周文利 . 物理学报 . 2011,第009期
3. 应力对外延Pb(Zr,Ti)O3薄膜铁电性能的影响 [J] . 杨传径 ,陈庆东 ,李新忠 . 河南科技大学学报（自然科学版） . 2011,第001期
4. 薄膜厚度对铁电薄膜铁电性能的影响 [J] . 李琳 ,周振功 . 哈尔滨工程大学学报 . 2009,第009期
5. 潜艇耐压船体周向应力分布不均匀性对稳定性的影响 [J] . 王晓天 ,孙俊岭 ,等 . 哈尔滨工程大学学报 . 1995,第002期
6. 纤维的不均匀分布对金属基复合材料中纤维上应力集中的影响 [C] . 阎兆旺 . 第七届全国复合材料学术会议 . 1992
7. 退火温度对BENT薄膜铁电性能和残余应力的影响 [A] . 吴雄利 . 2011

组分和应力不均匀分布对薄膜铁电性的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅