混合物理化学气相沉积法制备蓝宝石衬底外延MgB_2薄膜性质的研究

丁莉莉; 陈莉萍; 李芬; 冯庆荣; 熊光成

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我们用混合物理化学气相沉积(Hybridphysicalchemicalvapordeposition简称为HPCVD)法在αAl2O3(00l)衬底上原位制备了一批超导性能良好的外延MgB2超导薄膜样品.用10%浓度的乙硼烷(B2H6)氢气混合气作为原料,研究了不同条件对MgB2薄膜沉积速率的影响.在一定条件下制备了一批MgB2薄膜,厚度为200nm左右,样品的零电阻转变温度(Tc0)最高达到39K.X射线衍射分析的θ～2θ扫描表明,MgB2薄膜的晶粒都具有较好的C轴取向,对样品的(101)面Φ扫描结果显示MgB2薄膜晶格与衬底有很好的外延取向,取向关系为[1010]MgB2∥[1120]Al2O3.由毕恩模型计算求得在5K和零场条件下,样品的临界电流密度Jc=9.8×106A/cm2.这些结果表明HPCVD技术在MgB2外延薄膜原位制备方面有着很大的优势,从而有利于实现MgB2薄膜在电子器件方面的应用.

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来源
《低温物理学报》 |2006年第2期|107-111|共5页
作者
丁莉莉; 陈莉萍; 李芬; 冯庆荣; 熊光成;
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作者单位

北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类碳C;超导体、超导体材料;
关键词
MgB2薄膜; X射线衍射图; SEM图; R-T曲线; M-H曲线;

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