微晶硅薄膜纵向不均匀性的Raman光谱和AFM研究

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• 来源
  《人工晶体学报》 |2004年第6期|960-964|共5页
• 作者

  张晓丹; 赵颖; 朱锋; 魏长春; 吴春亚; 高艳涛; 孙建; 侯国付; 耿新华; 熊绍珍;

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• 作者单位

  南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;

  南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;

  天津300071;

  光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学;

  天津大学);

  天津300071;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜测量与分析;材料;
• 关键词

  衬底; 微晶硅薄膜; VHF-PECVD; AFM; 厚度; 不均匀性; 显示; Raman光谱; 晶化; 测试结果;