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关柏青; 于新瑞; 王石刚;
上海交通大学微电子装备研究中心;
上海200030;
检测方法; 矩特征; 元件; 类型; 码分; 边缘图像; 总体特征; 特征对; 引脚; 分析表; 精确性; 实时性; 轮廓; 链码;
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