基于电场分布特性的环形栅器件SPICE模型研究

张波; 肖立伊; 付方发

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基于电场分布特性的环形栅器件SPICE模型研究

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提出了一种新颖的、更加通用的环形栅器件版图等效宽度提取方法,用于解决目前商用SPICE模型中版图宽度提取方法不适用于环形栅器件这一问题.该方法基于环形栅中沟道电场分布特性,可用于提取多种形状环形栅版图宽度.提出了SPICE模型中模型参数的修改方法,使SPICE环形栅器件模型仿真更为精准.通过TCAD(计算机辅助设计)等多种仿真途径对该模型进行验证,结果表明该模型具有较高的精确度.

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来源
《微电子学与计算机》 |2012年第12期|140-144|共5页
作者
张波; 肖立伊; 付方发;
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作者单位

哈尔滨工业大学微电子中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计、分析、计算;
关键词
环形栅; 电场分布; 等效宽度; SPICE模型; TCAD;

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