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一种基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法

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摘要

提出了基于工艺模拟的断裂失效概率计算方法,充分考虑了非理想形貌对失效概率的影响,使得预测结果更加准确.并利用APDL语言对ANSYS进行二次封装,采用VC++开发了可靠度计算程序,使得整个计算过程简便、高效.

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来源
《微电子学与计算机》 |2009年第5期|149-151|共4页
作者
王磊; 宋竞; 唐洁影;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类可靠性及例行试验;
关键词
MEMS; 工艺模拟; 可靠度; VC++; ANSYS;

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